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| 磷酸三乙酯（TEPO） | |
| 化学式 | PO(OC2H5)3 |
| 中文名称 | 磷酸三乙酯 |
| 英文名称 | Triethyl phosphate |
| CAS No. | 78-40-0 |
| 分子量 | 182.2 |
| 充装系数 | |
| 应用 | 用作测定锆的试剂、医药、农药的溶剂和萃取剂及气相色谱固定液；用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃（PSG）和硼磷硅酸玻璃（BPSG）的磷源。是半导体、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。 |
| 产品规格 | ≥99.999995% |
