混合气体

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混合气体
气体名称 混合气体 纯度
硅烷 SiH4   /   H2, N2, Ar, He 100ppm ~99.9999%
乙硼烷 B2H6   /   H2, N2, Ar, He 1000ppm-30%
磷烷 PH3   /   H2, N2, Ar, He 20ppm%~99.999%
砷烷 AsH3   /   H2, N2, Ar, He 100ppm ~99.9999%
锗烷 GeH4   /   H2 , N2 , Ar , SiH4 100ppm ~99.9999%
三甲基硼烷 TMB   /   H2 , N2 , Ar , SiH4 0.1%~10%
四氟化碳 CF4+O2 定制
大宗气体 H2, N2, Ar, He,O2 定制

百科:

Gas mixture混合气,指含有两种或两种以上有效组份,或虽属非有效组份但其含量超过规定限量的气体。由几种气体组成的混合物,是工程上常用的工质。混合气体通常被当作理想气体研究。

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