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二氯二氢硅(SiH2Cl2)
   
化学式 SiH2Cl2
中文名称 二氯二氢硅
英文名称 Dichlorosilane,DCS
CAS No. 4109-96-0
分子量 101.01
充装量  
应用 半导体外延和化学气相沉积工艺中的硅源气体。有机硅化合物的生产。
产品规格 ≥99.95%

百科:

二氯二氢硅,常温下呈液化气体,25℃液体密度1.25kg/L,极易水解,在空气中冒白烟,有盐酸气味,水分存在下有极强的腐蚀性。
在空气中易燃,100℃以上能自燃,燃烧后生成氯化氢和氧化硅。加热至100℃以上时会自行分解而生成盐酸。氯气、氢气和不定性硅。施以强烈撞击时也会自行分解。在湿空气中产生腐蚀性烟雾。与碱、乙醇、丙酮起反应。即使接触少量卤素或其他氧化剂也会发生激烈反应。
二氯硅烷的毒作用主要是由它在湿空气中的水解产物氯化氢引起的。因此,人吸入后激烈刺激呼吸道,引起咳嗽、呼吸道发炎、喉痉挛和肺水肿。触到眼睛可引起流泪并导致眼灼伤。接触皮肤可引起化学灼伤。液态二氯硅烷也可引起冷灼伤。

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