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磷烷(PH3)
   
化学式 PH3
中文名称 磷烷
英文名称 Phosphine
CAS No. 7803-51-2
分子量 34
充装系数 0.2kg/L  (气瓶公称工作压力为15MPa时)
应用 主要用于硅烷外延的掺杂剂,磷扩散的杂质源。同时也用于多晶硅化学气相淀积、外延GaP材料、离子注入工艺、化合物半导体的MOCVD工艺、磷硅玻璃(PSG)钝化膜制备等工艺中。
产品规格 99.9997%

百科:

磷烷具有五配位磷的有机化合物,稳定的磷烷多为氟原子的衍生物或环状磷酸酯。

无色,剧毒,易燃烧气体,带有令人生厌的大蒜味。

电子气中,硅烷、磷烷、硼烷、砷烷应用量较大,是IC制造极为重要的原料。其中的磷烷是半导体器件制造中的重要 N型掺杂源,同时 磷烷还用于多晶硅化学气相沉淀、外延 Ga P材料、离子注人工艺、MO C V D工艺、磷硅玻璃(PSG)钝化膜制备等工艺中。
PH3,易燃、易爆、剧毒,其毒性 数为:PEL/TLV 0.3ppm,STEL 1ppm,LC50 20ppm,IDLH 200ppm,属剧毒危害品。

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