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| 三氟化磷（PF3） | |
| 化学式 | PF3 |
| 中文名称 | 三氟化磷 |
| 英文名称 | Phosphorus Trifluoride |
| CAS No. | 7783-55-3 |
| 分子量 | 87.969 |
| 充装量 | |
| 应用 | 发生气体、氟化剂、外延、离子注入。作为气态磷离子注入源。 |
| 产品规格 | ≥99.9% |
百科：
三氟化磷是一种无机化合物，其化学式为PF3，在常温常压下为无色无味的有毒气体，液态时为无色透明液体，空气中不太发烟，相当稳定，加热时与氢反应生成PH3，能与水反应生成亚磷酸和氟化氢。碱中也能分解。可溶于乙醇。除在高温外，不腐蚀玻璃。
